Plasma-kemiallisessa höyrypinnoitusprosessissa (PECVD) jokainen sähköliitäntä radiotaajuisesta tehonsiirrosta prosessikaasun säätöön vaikuttaa suoraan ohutkalvopinnoituksen tasaisuuteen ja sirun saantoon. Pienten laitteiden, korkean tyhjiön ja voimakkaiden sähkömagneettisten häiriöiden aiheuttamat ankarat olosuhteet...WAGOpicoMAX®-liittimet, joiden kolme keskeistä etua ovat "kompaktius, luotettavuus ja tehokkuus", ovat tulleet ihanteelliseksi liitäntäratkaisuksi PECVD-järjestelmiin.
Innovatiivinen kompakti muotoilu
Sopeutuminen tarkkuuskammioasetteluihin
PECVD-laitteiden sisätila on rajallinen, mikä vaatii tiheää virta-, signaali- ja mittauslinjojen järjestelyä reaktiokammion ympärillä. picoMAX® käyttää yksijoustaista, kaksitoimista rakennetta, jossa on useita 3,5/5,0/7,5 mm:n pinnijakoja. Liittämisen jälkeen se vie 30 % vähemmän tilaa kuin aiemmat tuotteet ja mukautuu täydellisesti kammion ympärillä oleviin johdotusvaatimuksiin. Sen reikätyyppinen liitin on lähes kokonaan upotettu pinnirimaan, mikä tukee rinnakkaiskokoonpanoa ilman napojen menetystä, parantaa merkittävästi piirilevyn käyttöastetta ja mahdollistaa signaali- ja virtalinjojen järjestelmällisen järjestämisen häiritsemättä prosessikaasun virtauskenttää.
Vankka suojaus äärimmäisiä käyttöolosuhteita vastaan
PECVD-prosessit sisältävät korkeaa tyhjiötä, korkeataajuista plasmaa ja tärinäympäristöjä, mikä asettaa tiukat vaatimukset liittimien luotettavuudelle. picoMAX®-liittimessä on vakaa rakenne, jonka tärinänkestävyys on jopa 12 g, mikä estää korkeataajuisen tärinän aiheuttaman liitosten löystymisen. Siinä on myös väärinasennuksen estävä rakenne ja lukituslaite, jotka estävät asennusvirheet ja vahingossa tapahtuvan irtoamisen varmistaen laitteiden jatkuvan toiminnan ilman seisokkeja.
Työkaluton pikaliitäntä
picoMAX®-järjestelmässä on työkaluton pikaliitäntätekniikka, joka mahdollistaa sekä yksi- että monisäikeisten johtojen kytkemisen "kytke ja pidä" -periaatteella kylmäpuristetuilla liittimillä. Monimutkaiset johdotusliitännät tehdään yhdessä vaiheessa, mikä parantaa merkittävästi kokoonpanotehokkuutta ja lyhentää virheenkorjaussyklejä. Modulaarinen rakenne on yhteensopiva reflow-juotosprosessien kanssa ja täyttää automatisoidun tuotannon kustannussäästötarpeet. Se kattaa myös kaikki PECVD-liitäntäskenaariot: 3,5 mm:n nastarako sopii 0,2–1,5 mm²:n signaalijohtimille, kun taas 5,0/7,5 mm:n nastarako tukee 16 A:n virtajohtoja. Se tukee johdin-levy- ja seinänläpiasennusmenetelmiä, on yhteensopiva ohjauskaappi- ja ontelojohdotuksen kanssa ja täyttää GB/T 5226.1 -sähköturvallisuusstandardit, mikä luo vankan suojan prosessin vakaudelle.
Puolijohdeteollisuudessa, jossa nanometritason prosessitarkkuus on ensiarvoisen tärkeää, luotettavat liitännät takaavat korkean saannon.WAGOpicoMAX® saavuttaa mullistavan tuotesuunnittelukonseptinsa ansiosta "pienen koon ja korkean suorituskyvyn" kompaktissa koossa, tarjoten vakaita, tehokkaita ja pitkäikäisiä liitäntäratkaisuja PECVD-laitteille. Tämä auttaa puolijohdevalmistajia voittamaan tarkkuusprosessiliitäntöjen haasteet ja turvaamaan jokaisen sirun mikrometritason tarkkuuden.
Julkaisun aika: 13.3.2026